Lithografische structuren

Lithografie is een van de centrale methoden voor de productie van geïntegreerde schakelingen en andere producten. Afstanden, stralingsafscherming, hoek en vorm en positieafwijkingen worden gemeten. De eisen voor de meetonzekerheid zijn gemiddeld tot hoog. De eisen aan de meettijd zijn hoog, omdat metingen meestal tijdens het proces worden uitgevoerd.