Estruturas litográficas

A litografia é um dos métodos centrais para o fabrico de circuitos integrados e outros produtos. São medidas distâncias, raios, ângulos e desvios de forma e posição. Os requisitos para a incerteza de medição situam-se na gama média a elevada. Os requisitos de tempo de medição são elevados, uma vez que as medições são normalmente efectuadas durante o processo.