Estructuras litográficas

La litografía es uno de los métodos centrales para la fabricación de circuitos integrados y otros productos. Se miden distancias, radios, Ángulo y molde y desviaciones de posición. Los requisitos de incertidumbre de medición se sitúan en el rango de medio a alto Departamento. Los requisitos de tiempo de medición son elevados, ya que las mediciones suelen realizarse durante el proceso.