Estruturas litográficas

A litografia é um dos métodos centrais para a fabricação de circuitos integrados e outros produtos. São medidas as distâncias, os raios, os ângulos e os desvios de forma e posição. Os requisitos de incerteza de medição estão na faixa média a alta. Os requisitos de tempo de medição são altos, pois as medições geralmente são feitas durante o processo.