Struktury litograficzne

Litografia jest jedną z głównych metod wytwarzania układów scalonych i innych produktów. Mierzone są odległości, promienie, kąty oraz odchylenia kształtu i położenia. Wymagania dotyczące niepewności pomiaru mieszczą się w zakresie od średniego do wysokiego. Wymagania dotyczące czasu pomiaru są wysokie, ponieważ pomiary są zwykle wykonywane w trakcie procesu.