Werkstukken met optische functionele oppervlakken

Het belangrijkste geometrisch kenmerk is de oppervlaktevorm van de optische functionele oppervlakken. Vanwege de toleranties in het lagere µm bereik zijn de eisen voor de meetonzekerheid extreem hoog. De eisen voor de meettijd zijn daarentegen vrij laag. Contactmeetmethoden zijn meestal uitgesloten omdat de te testen oppervlakken erg gevoelig zijn.