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Fette di wafer - Dischi di silicio rotondi che servono come base per i circuiti integrati.

Fette di wafer

Dischi di silicio rotondi che servono come base per i circuiti integrati.

La proprietà geometrica più importante è la planarità superficie dell'intero wafer.
Inoltre, fette di wafer viene controllata la presenza di inclusioni e danni superficiali. I velocità di misurazione requisiti per il monitoraggio del processo sono talvolta molto elevati.

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