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晶片 - 作为集成电路基础的硅圆片

晶片

作为集成电路基础的硅圆片

最重要的几何特性是整个晶圆表面的平整度。
同时还要检查晶圆是否有夹杂物和表面损伤。工艺监控对测量速度的要求有时非常高。

ScopeCheck® S

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用于测量小型工件的多传感器坐标测量机

ScopeCheck® S

Werth Image Processing BV

传感器

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色谱聚焦点传感器 CFP

传感器

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色差对焦变焦 CFZ

传感器

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Werth Zoom

辅料

Werth Zoom

具有恒定放大率的远心镜头

辅料

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换热器回缩轴

辅料

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ScopeCheck® FB

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坚固的设计，固定的入口，用于经济的生产控制，测量不确定性低

ScopeCheck® FB

Werth Image Processing BV

传感器

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色谱聚焦点传感器 CFP

传感器

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色差对焦变焦 CFZ

传感器

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色度聚焦线传感器 CFL

传感器

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Werth Zoom

辅料

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具有恒定放大率的远心镜头

辅料

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换热器回缩轴

辅料

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VideoCheck® S

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用于测量较小工件的精密多传感器三坐标测量机

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Werth Image Processing BV

传感器

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色谱聚焦点传感器 CFP

传感器

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色差对焦变焦 CFZ

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纳米聚焦探针NFP

传感器

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Werth Zoom

辅料

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具有恒定放大率的远心镜头

辅料

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换热器回缩轴

辅料

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VideoCheck® FB

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用于测量大型工件的精确的多传感器坐标测量机，可根据要求提供多个Z轴。

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色谱聚焦点传感器 CFP

传感器

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色差对焦变焦 CFZ

传感器

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色度聚焦线传感器 CFL

传感器

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纳米聚焦探针NFP

传感器

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Werth Zoom

辅料

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具有恒定放大率的远心镜头

辅料

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换热器回缩轴

辅料

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VideoCheck® HA

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用于测量大型工件的高精度多传感器三坐标测量机，可根据要求配备多个 Z 轴

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色谱聚焦点传感器 CFP

传感器

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色差对焦变焦 CFZ

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色度聚焦线传感器 CFL

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纳米聚焦探针NFP

传感器

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Werth Zoom

辅料

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具有恒定放大率的远心镜头

辅料

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换热器回缩轴

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VideoCheck® UA

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超精密多传感器三坐标测量机

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色谱聚焦点传感器 CFP

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色差对焦变焦 CFZ

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纳米聚焦探针NFP

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Werth Zoom

辅料

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具有恒定放大率的远心镜头

辅料

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换热器回缩轴

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