Lithografische Strukturen

Die Lithographie ist eine der zentralen Methoden zur Herstellung von integrierten Schaltungen und weiteren Produkten. Gemessen werden Distanzen, Radien, Winkel sowie Form- und Lageabweichungen. Die Anforderungen an die Messunsicherheit liegen im mittleren bis hohen Bereich. Die Anforderungen an die Messzeit sind hoch, da in der Regel prozessbegleitend gemessen wird.